Spectropur Entnahmestelle EE55-1-VCR
Produktmerkmale
- Entnahmestelle für korrosive Gase und Gasgemische mit korrosiven Anteilen ab Qualität 6.0
- Montage-freundliches Design im Labor-Look
- Sehr hohe Regelgenauigkeit
- Druckregler mit angebundener Membrane
- Orbital-geschweißte VCR-Verbindungen
- Evakuierbar
- Manuelles Prozessgasventil (TPI)
- 100 % Helium-leckgeprüft
- Montage im Reinraum Klasse ISO 5.0
Technische Daten
Vordruck P₁
max. 50 bar
Hinterdruck P₂
1,5 / 4 / 10 bar
Werkstoffe
Gehäuse: Edelstahl 1.4404
Membranen: Hastelloy C276
übrige gasberührte Teile: Edelstahl 1.4404
Dichtmaterialien: PTFE, PCTFE, PVDF
Membranen: Hastelloy C276
übrige gasberührte Teile: Edelstahl 1.4404
Dichtmaterialien: PTFE, PCTFE, PVDF
Oberfächengüte (gasberührte Flächen)
Rₐ.max ≤ 0,25 µm
Leckrate
(nach außen): 1 x 10⁻⁹ mbar l/s He
(über den Ventilsitz): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
(über den Ventilsitz): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
Cᵥ-Wert
0,24 (kᵥ = 0,2)
Temperaturbereich
-20°C bis +60°C
Gewicht
3,0 kg
Downloads
Datenblätter
Betriebsanleitungen
HTML
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