Spectropur 终端阀 EE55-1-VCR
产品特性
• 终端减压阀适用于纯度高于 6.0 的有害和超高纯气体
• 实验室风格设计易于安装
• 高精度控制压力
• 绑定式膜片结构
• 自动轨道焊接VCR接头
• 可用于真空
• 手动进气截止阀(TPI)
• 100 % 氦气检测
• 在ISO 5.0等级的洁净室内组装
技术参数
进气压力 P₁
最大 50 bar
出气压力 P₂
最大 1,5 / 4 / 10 bar
材料
阀体:不锈钢 1.4404
膜片: : 哈氏合金 C276
其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404
密封件: PCTFE 或 PVDF
膜片: : 哈氏合金 C276
其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404
密封件: PCTFE 或 PVDF
表面粗糙度(与气体接触区域)
Ra,最大 ≤ 0,25 µm
泄漏率
(对外): 1 x 10⁻⁹ mbar l/s He
(对内): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
(对内): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
Cᵥ-值
0,24 (kv = 0,2)
温度范围
-20°C 到 +60°C
重量
3,0 kg
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Pur超高纯系列
