Spectropur 三路吹扫模块 SBE/3-MV3

产品特性

•  最小吹扫体积只有 1.4 cm³
•  毛细管能够吹扫钢瓶阀
•  对外界为金属-金属式密封,膜片为哈氏合金 C276
•  与气休接触区域的材料为不锈钢 316L, 哈氏合金 C276 及 PCTFE 或 PVDF
•  可用于真空
•  无杂质产生, 因为无相对摩擦,也没有弹簧替换与气体接触
•  嵌入式软密封阀座材料为PCTFE或PVDF,允许高频开关并保持良好的密封性
•  模块化设计便于更换内部需件
•  清晰的位置指示 (开/关)
•  高表面质量
•  100 % 氮气泄漏检测
•  在ISO 5.0等级的洁净室内进行装配
•  可用于最高250 bar的氧气
•  可选进气方向,进气口在气瓶的右侧或左侧(工艺气体阀始终在后面)

供气设备用于超高纯气体,气体纯度高于6.0

技术参数
材料
阀体: 不锈钢 1.4404 ESU/VAR (SS 316L 重融) 膜片: : 哈氏合金 C276 与气体接触零件:不锈钢 1.4404 ESU/VAR (SS 316L 重融) 阀座: PCTFE 或 PVDF
表面粗糙度
Rₐ ≤ 0,25 µm 可选: Rₐ ≤ 0,18 µm
泄漏率
(对外): 1 x 10⁻⁹ mbar l/s He (对内): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
压力
手动截止阀: 最大 300 bar 气动截止阀: 25 / 100 / 200 / 300 bar
Cᵥ-值
0,13 (kv = 0,11)
通径
DN 3
钢瓶接头
- 依据DIN 477标准 - 可选其它标准 (如 BS, AFNOR, UNI)
Pur超高纯系列
SBE3-pn-web
Spectropur 三路吹扫模块 SBE/3-MV3

若您有产品方面的问题?

请联系专家