Spectropur 减压阀 E71-VCR
产品特性
• 优化低阻力的内表面电解抛光设计
• 最小的内部空间设计以减少吹扫次数
• 所有与气体接触区域的材料为不锈钢316L、哈氏合金、C276PCTFE或PVDF
• 单级式减压阀
• 减压阀可用于真空
• 内部接头连接压力表
• 高精度控制压力
• 对外界是金属对金属的密封方式
• 高表面质量
• 带有防震装置的单级式减压阀
• 接头: 进出口为UNF 7/8-14 (与1/2” VCR兼容);压力显示接口为UNF 9/16-18(与1/4” VCR兼容)
• 通过调节手轮方便地控制输出压力
• 100 % 氦气检测
• 在ISO 5.0等级的洁净室内组装
• 可选SEMASPEC文档
技术参数
材料
阀体: 不锈钢 1.4404 ESU/VAR (SS 316L 重融)
膜片: : 哈氏合金 C276
与气体接触零件:不锈钢 1.4404 ESU/VAR (SS 316L 重融)
阀座: PCTFE 或 PVDF
膜片: : 哈氏合金 C276
与气体接触零件:不锈钢 1.4404 ESU/VAR (SS 316L 重融)
阀座: PCTFE 或 PVDF
表面粗糙度(
Rₐ ≤ 0,25 µm
可选: Rₐ ≤ 0,18 µm
可选: Rₐ ≤ 0,18 µm
泄漏率
(对外) 1 x 10⁻⁹ mbar l/s He
(对内) 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
(对内) 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
温度/压力
温度: -20°C到 +60°C
进气压力: 最大 200 bar
出气压力: 最大 1,5 / 4 / 10 bar
进气压力: 最大 200 bar
出气压力: 最大 1,5 / 4 / 10 bar
Cᵥ-值
0,7
重量
1,5 kg
进-出气接口
1/2" VCR-F
1/2" VCR-M
可选其它接头
1/2" VCR-M
可选其它接头
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Pur超高纯系列
