Spectropur 膜片截止阀 MV3-VCR
产品特性
•手动或气动式不锈钢膜片截止阀
•膜片对外界为金属对金属的密封方式
•可用于真空条件
•最小化内腔设计可减少吹扫次数
•与气体接触区域无旋转摩擦元件，不会产生杂质颗粒
•密封件材质为PCTFE或PVDF，允许频繁开关并保持良好的密封性
•模块化设计，易于更换内部零件
•清晰易懂的位置指示（开/关）
•100％氦气泄漏检测
•在等级ISO 5.0的洁净室中进行组装
•模块化设计
•可选气控头用于压力 25, 100, 200 和 300 bar
•可选配电感式接近开关
技术参数
材料
阀体:不锈钢 1.4404
膜片: : 哈氏合金 C276
其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404
阀座: PCTFE 或 PVDF
膜片: : 哈氏合金 C276
其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404
阀座: PCTFE 或 PVDF
表面粗糙度
Rₐ, 最大 ≤ 0,25 µm
(与气体接触) Rₐ, 平均 ≤ 0,13 µm
(与气体接触) Rₐ, 平均 ≤ 0,13 µm
泄漏率
(对外) 1 x 10⁻⁹ mbar l/s He
(对内) 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
(对内) 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
工作压力
最大 300 bar
O2: 最大 200 bar
O2: 最大 200 bar
Cᵥ-值
0,33
通径
DN 4
温度范围
-20°C 到 +60°C
进-出气接口
1/4" VCR-M
1/4" VCR-F
不锈钢管 1/4"x28mm
1/4" VCR-F
不锈钢管 1/4"x28mm
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Pur超高纯系列
