Spectropur 减压阀 E51-VCR
产品特性
• 减压阀适用于纯度高于 6.0 的有害和超高纯气体
• 单级式减压阀
• 减压阀可用于真空
• 高精度控制压力
• 对外界是金属对金属的密封方式
• 高表面质量
• 内置过滤器
• 绑定式膜片结构
• 最小的内部空间设计以减少吹扫次数
• 电解抛光表面(与气体接触区域)
• 通过调节手轮方便地控制输出压力
• 100 % 氦气检测
• 在ISO 5.0等级的洁净室内组装
技术参数
工作压力
最大 300 bar
材料
阀体:不锈钢 1.4404 (SS 316L)
膜片: : 哈氏合金 C276
其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404 (SS 316L)
密封件: PCTFE 、PTFE或 PVDF
膜片: : 哈氏合金 C276
其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404 (SS 316L)
密封件: PCTFE 、PTFE或 PVDF
表面粗糙度
Rₐ,最大 ≤ 0,25 µm
Rₐ,平均 ≤ 0,18 µm
Rₐ,平均 ≤ 0,18 µm
泄漏率
(对外): 1 x 10⁻⁹ mbar l/s He
(对内): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
(对内): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
温度范围
-20°C 到 +60°C
Cᵥ-值
0,24
重量
1,2 kg
进-出气接口
1/4"-VCR -M 或
1/4"-VCR -F
1/4"-VCR -F
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Pur超高纯系列
