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Spectropur - Armaturen für Halbleitergase ab Qualität 6.0

Spectropur Druckregler E81-VCR

LE81-VCR
LE81-VCR

Produktmerkmale

  • Strömungsgünstige, elektropolierbare Geometrien
  • Totraumminimierte Gestaltung, daher kurze Spülzeiten
  • Alle medienberührten Teile aus Edelstahl 1.4404 ESU sowie Hastelloy C276 und PCTFE bzw. PVDF
  • Einstufige Bauart
  • Evakuierbar
  • Innenliegende Anschlüsse für Druckanzeige
  • Hohe Regelgenauigkeit
  • Ganzmetallische Abdichtung nach außen
  • Hohe Oberflächengüte
  • Ein-/Ausgang: UNF 7/8-14
    (1/2" VCR-kompatibel)
    Manometeranschluss: UNF 9/16-18 (1/4" VCR-kompatibel)
  • Einfache Hinterdruckbegrenzung über das Handrad
  • 100 % Helium-leckgeprüft
  • Montage im Reinraum Klasse ISO 5.0
  • Optional Dokumentation gemäß SEMASPEC
Technische Daten
Werkstoffe
Gehäuse:

Membrane:
Innenteile:

Ventilsitzdichtungen:

Edelstahl 1.4404 ESU
(SS 316L remelted)
Hastelloy C276
Edelstahl 1.4404 ESU
(SS 316L remelted)
PCTFE bzw. PVDF

Oberfächengüte
auf Anfrage:
Ra 0,25 µm
Ra 0,18 µm
Leckrate
nach außen:
über den Ventilsitz:

< 1 x 10-9 mbar l/s He
< 1 x 10-6 mbar l/s He
Temperatur/Druck
Temperatur:
Vordruck:
Max. Hinterdruck:

-30°C bis +60°C
max. 50 bar
1,5 / 4 / 10 bar
Cv-Wert 1,0
Gewicht 1,7 kg
Ein-/Ausgang
1/2" VCR-Überwurfmutter
1/2" VCR-Druckschraube
weitere auf Anfrage