Spectropur 终端阀组 EES55-1-VCR
产品特性
- •终端阀组适用于纯度6.0以上的腐蚀性气体或混合气体
•控制精度高
•减压阀为绑定式膜片结构
•轨道焊接的VCR接头
•可用于真空条件
•可选手动或气动膜片截止阀：
-工艺气体入口（TPI）
-吹扫气体入口（SPI）
-吹扫气体出口（SPV）
-工艺气体出口（TPO）
•100％氦气泄漏检测
•在等级ISO 5.0的洁净室中进行组装
技术参数
进气压力 P₁
最大 50 bar
出气压力 P₂
最大 1,5 / 4 / 10 bar
材料
阀体:不锈钢 1.4404
膜片: : 哈氏合金 C276
其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404
密封件: PCTFE 或 PVDF
膜片: : 哈氏合金 C276
其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404
密封件: PCTFE 或 PVDF
表面粗糙度 (气体接触部分)
Ra,最大 ≤ 0,25 µm
泄漏率
(对外): 1 x 10⁻⁹ mbar l/s He
(对内): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
(对内): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
Cᵥ-值
0,24 (kv = 0,2)
温度范围
-20°C 到 +60°C
重量
2,4 ... 5,0 kg
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Pur超高纯系列
