Spectropur 压力控制面板 BE55/56-1-VCR
产品特性
• 减压面板适用于纯度高于 6.0 的腐蚀性及混合气体
• 可选单级或双级式减压阀
• 高精度控制压力
• 绑定式膜片结构
• 自动轨道焊接VCR接头
• 内置过滤器
• 减压阀可用于真空
• 配置爆破片
• 手动排气膜片式截止阀 (HPV)
• 手动进气膜片式截止阀 (HPI)
• 膜片式截止阀可选手动或气动式结构
• 100 % 氦气检测
• 在ISO 5.0等级的洁净室内组装
技术参数
进气压力 P₁
最大 300 bar
出气压力 P₂
最大 1,5 / 4 / 10 bar
材料
阀体:不锈钢 1.4404
膜片: : 哈氏合金 C276
其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404
密封件: PCTFE 或 PVDF
膜片: : 哈氏合金 C276
其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404
密封件: PCTFE 或 PVDF
表面粗糙度 (与气体接触区域)
Ra,最大 ≤ 0,25 µm
泄漏率
(对外): 1 x 10⁻⁹ mbar l/s He
(对内): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
(对内): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
Cᵥ-值
0,24 (kv = 0,2)
温度范围
-20°C 到 +60°C
重量
4,1 / 4,6 kg
下载
HTML
Pur超高纯系列
