Spectropur 气柜集成全自动切换和吹扫控制器

Spectropur气柜集成全自动切换和吹扫控制器

适用于半导体行业的超高纯气体系统

具备更换气体钢瓶前后的连续供应和吹扫控制功能

 保证过程气体的安全和操作人员以及周边环境的安全

 连续可靠的气体供应从而保证生产不间断

 专利的吹扫装置确保气体必须的纯度

 持续不间断的压力和运行状态监测

 报警信号可集成至BMS

 加密的安全远程连接