Spectropur 压力控制面板 SP6
产品特性
• 压力控制面板适用于危险性气体和纯度高于6.0的超高纯气体
• SBE: 吹扫连接模块或
SR: 进气盘管和单个阀并配
- 手动废气排放阀 (HPV)
- 手动进气阀 (HPI)
- 手动吹扫进气阀 (PGI)
• 单向阀以防止工艺气体进入吹扫气体管路中
• 内置过滤器
• 减压阀为绑定式膜片结构
• 配置爆破片
• 泄漏和真空测试口
• 最小的吹扫体积 (SBE模块)
• 不锈钢膜片式截止阀可选手动或气控式
• 电解抛光表面 (与气体接触区域)
• 清晰的手轮位置指示 (开/关)
• 100 % 氦气检测
• 在ISO 5.0等级的洁净室内组装
• 有多种可选项的模块化设计
技术参数
工作压力
最大 300 bar
材料
阀体:不锈钢 1.4404
膜片: : 哈氏合金 C276
其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404
密封件: PCTFE 或 PVDF
膜片: : 哈氏合金 C276
其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404
密封件: PCTFE 或 PVDF
表面粗糙度
Rₐ,最大 ≤ 0,25 µm
(与气体接触区域) Rₐ,平均 ≤ 0,18 µm
(与气体接触区域) Rₐ,平均 ≤ 0,18 µm
泄漏率
(对外): 1 x 10⁻⁹ mbar l/s He
(对内): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
(对内): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
温度范围
-20°C 到 +60°C
Pur超高纯系列
