Spectropur 三路吹扫模块 SBE3
产品特性
• 吹扫模块用于纯度高于 6.0 的有害和超高纯气体
• 最小吹扫体积只有 2.6 cm³
• 毛细管能够吹扫钢瓶阀
• 对外界为金属-金属式密封
• 与气休接触区域的材料为不锈钢 316L, 哈氏合金 C276 及 PCTFE 或 PVDF
• 可用于真空
• 无杂质产生, 因为无相对摩擦,也没有弹簧替换与气体接触
• 嵌入式软密封阀座材料为PCTFE，允许高频开关并保持良好的密封性
• 模块化设计便于更换内部需件
• 清晰的位置指示 (开/关)
• 高表面质量
• 100 % 氮气泄漏检测
• 最小的内部空间设计以减少吹扫次数
• 在ISO 5.0等级的洁净室内进行装配
技术参数
工作压力
手动式: 最大 300 bar
气动式: 25 / 100 / 200 / 300 bar
气动式: 25 / 100 / 200 / 300 bar
材料
阀体:不锈钢 1.4404 (SS 316L)
膜片: : 哈氏合金 C276
其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404 (SS 316L)
密封件: PCTFE 或 PVDF
膜片: : 哈氏合金 C276
其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404 (SS 316L)
密封件: PCTFE 或 PVDF
表面粗糙度
Rₐ,最大 ≤ 0,25 µm
Rₐ,平均 ≤ 0,18 µm
Rₐ,平均 ≤ 0,18 µm
泄漏率
(对外): 1 x 10⁻⁹ mbar l/s He
(对内): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
(对内): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
Cᵥ-值
0,13 (kv = 0,11)
通径
DN 3
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Pur超高纯系列
