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Spectropur - Armaturen für Halbleitergase ab Qualität 6.0

Spectropur Membranventile MV3-VCR

MV3-VCR-H
MV3-VCR-PN200-NC

Produktmerkmale

  • Edelstahl-Absperrventile zur manuellen oder automatischen (pneumatischen) Absperrung
  • Ganzmetallische Abdichtung nach außen durch Metallmembranen
  • Totraumminimierte Gestaltung, daher kurze Spülzeiten
  • Voll funktionsfähig auch bei anstehendem Vakuum
  • Weder auf Reibung belastete Teile noch torsionsbelastete Feder im gasberührten Raum, daher geringe Partikelgenerierung
  • Häufiges Betätigen ohne Dichtheitsverluste durch eine gekammerte Weichsitzdichtung aus PCTFE bzw. PVDF
  • Einfaches Auswechseln kompletter Ventileinsätze
  • Eindeutige Stellunganzeige (Auf/Zu, beim Handventil)
  • 100 % Helium-leckgeprüft
  • Montage im Reinraum Klasse ISO 5.0
  • Aufbau nach dem Baukastenprinzip
Technische Daten
Werkstoffe
Gehäuse:
Membrane:
Übrige gasberührte Teile:
Ventilsitzdichtungen:

Edelstahl 1.4404
Hastelloy C276
Edelstahl 1.4404
PCTFE bzw. PVDF

Oberfächengüte
(gasberührte Flächen)
Ra, max. ≤ 0,25 µm
Ra, Avg. ≤ 0,13 µm
Leckrate
nach außen:
über den Ventilsitz:

< 1 x 10-9 mbar l/s He
< 1 x 10-6 mbar l/s He
Betriebsdruck
max. 300 bar
O2: max. 200 bar
Gewicht
0,4 ... 1,3 kg
Cv-Wert 0,33
Nennweite DN 4
Temperaturbereich -30°C bis +60°C
Ein-/Ausgang
VCR-Überwurfmutter
VCR-Druckschraube
Rohrenden 1/4"x28mm