Spectropur - Produktmerkmale
Das Produktprogramm ist speziell für Halbleitergase und umfasst
Komponenten wie Druckregler und Ventile bis zu kompletten
Entnahmepanelen, VMP´s, VNB´s und Gasflaschenschränken.
Spectropur-Armaturen sind aus nachgeschmolzenem Edelstahl mit
elektropolierten Oberflächen und Hastelloy -Membranen. Die Totraum
optimierten Komponenten können durch VCR-Verschraubungen vollmetallisch
abgedichtet werden. Patentierte Spüleinrichtungen stellen die
vorgeschriebene Gasreinheit sicher.
Anwendungsbereiche
Spectropur-Produkte sind für eine Vielzahl von Anwendungen einsetzbar:
- Halbleiterproduktion
- Forschung
- Glasfasertechnik
- Laseranwendungen
- ...
und viele weitere Anwendungen wo die allerhöchsten Ansprüche in Sachen
Reinheit, Partikel, Automatisierung und Sicherheit gefordert werden.
Technische Daten
- Eingangsdrücke: max. 200 bar
- Ausgangsdrücke: 1,5 bar - 10 bar
- Maximale Durchflussmenge: 100 Nm³/h
- Leckrate: 1 x 10-9 mbar.l/s