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Spectropur - Armaturen für Halbleitergase ab Qualität 6.0

Spectropur - Produktmerkmale

Das Produktprogramm ist speziell für Halbleitergase und umfasst Komponenten wie Druckregler und Ventile bis zu kompletten Entnahmepanelen, VMP´s, VNB´s und Gasflaschenschränken. Spectropur-Armaturen sind aus nachgeschmolzenem Edelstahl mit elektropolierten Oberflächen und Hastelloy -Membranen. Die Totraum optimierten Komponenten können durch VCR-Verschraubungen vollmetallisch abgedichtet werden. Patentierte Spüleinrichtungen stellen die vorgeschriebene Gasreinheit sicher.

Anwendungsbereiche

Spectropur-Produkte sind für eine Vielzahl von Anwendungen einsetzbar:
  • Halbleiterproduktion
  • Forschung
  • Glasfasertechnik
  • Laseranwendungen
  • ... und viele weitere Anwendungen wo die allerhöchsten Ansprüche in Sachen Reinheit, Partikel, Automatisierung und Sicherheit gefordert werden.

Technische Daten

  • Eingangsdrücke: max. 200 bar
  • Ausgangsdrücke: 1,5 bar - 10 bar
  • Maximale Durchflussmenge: 100 Nm³/h
  • Leckrate: 1 x 10-9 mbar.l/s

Arbeit Spectrolab


Arbeit Spectrolab